FFKM（パーフルオロエラストマー）製シールは、最も過酷な条件下での使用に特化して開発された特殊シール材料です。極限の温度環境、強腐食性化学環境、超高純度要求など、過酷な条件下において、従来のゴムにはない高い信頼性を発揮できる。

 

主な特性

卓越した耐薬品性 – 強酸、強塩基、ケトン類、エステル類、エーテル類、アルコール類、アルデヒド類、燃料、高温蒸気など、1600種類以上の化学品に耐える。侵食性流体中での長期暴露後も弾性と回復性を維持する。

広い使用温度範囲 – 連続使用温度は -20℃ ～ 250～320℃。インターミット（断続）使用では 327℃ 以上まで可能。

優れたシール性能 – 300℃ での圧縮永久ひずみを 50％ 以下に抑えられる。極度の高温や化学腐食環境においても、優れた耐圧縮永久ひずみ性と高反発弾性を発揮し、長期的なシール性を確保する。

高純度 – 精製処理された FFKM シールは、極めて低い金属イオン含有量と超低アウトガスを示し、汚染が極めて重要な超清浄環境に適する。

 

架橋タイプの選択
FFKM シールの性能は、分子構造と架橋システムの組み合わせに依存する。架橋点モノマー（CSM）の種類に基づき、主に以下の架橋技術が利用可能：

過酸化物架橋 – 耐熱性は約 230℃ まで。耐酸性・耐溶剤性に優れる。汎用 FFKM の主流技術。

トリアジン架橋 – 耐熱性は 315℃ まで。現在最も耐熱性の高い FFKM システム。290℃ 以下での引張強度はほとんど変化しない。航空宇宙などの極高温用途に最適。

 

代表的な用途

半導体製造 – プラズマエッチング、化学気相成長（CVD）、フォトリソグラフィーなどのチャンバーシール。NF₃、Cl₂ などの腐食性プロセスガスに耐える。

化学プラント – ポンプ、バルブ、反応器、熱交換器用シール。強酸、強塩基、有機溶剤に耐える。

石油・天然ガス – 坑井内ツールシール、坑口バルブシール。H₂S、CO₂ などの酸性ガスや高温高圧環境に耐える。

航空宇宙 – エンジン燃料システム、油圧システム用シール。過酷な温度サイクルと厳格な安全基準を満たす。

製薬・食品 – 高純度シール。関連業界の安全基準に適合する。